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相关技术资料/Technical information

大型集成电路生产用超纯水设施

2016-12-16

       大型集成电路生产用超纯水设施顾名思义主要应用于集成电路生产用水,该设施引进进口元件,结合制水经验,选用先进的反渗透技术和EDI技术相结合,有效去除水中的各种杂质。大型集成电路生产用超纯水设施具有出水水质好,操作简单,制水效果显著等特性。
 
      大型集成电路生产用超纯水设施工艺
 
      1、预处置系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→周密过滤器→用水工具(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
 
      2、预处置→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→0.2或0.5μm周密过滤器→用水工具(≥18MΩ.CM)(新工艺)
 
      3、预处置→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm周密过滤器→用水工具(≥17MΩ.CM)(新工艺)
 
      4、预处置→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm周密过滤器→用水工具(≥15MΩ.CM)(新工艺)
 
      5、预处置系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→周密过滤器→用水工具(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

      大型集成电路生产用超纯水设施特性
 
      1、整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处置量。
 
      2、主动化程度高,遇阻碍立刻自停,具有主动保护功能。
 
      3、膜组件为复合膜卷制而成,体现出更高的溶质离别率和透过速率。
 
      4、能耗低、水使用率高、运行成本低。
 
      5、结构合理,占地面积少。
 
      6、先进的膜保护系统,在设施关机,淡化水可主动将膜面污染物冲洗洁净,延长膜寿命。
 
      7、系统无易损部件,无须大批维修,运行长期有效。
 
      8、设施设计有膜清洗系统用阻垢系统。

超纯水设施27.jpg
 
     必博娱乐网址专注于水处置技术十余年,积存了丰盛的水处置经验。系统中水箱均设有液操纵系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测操纵仪表、电气采纳PLC可编程操纵器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采纳推举和客户要求相统一的方法,使设施与其它同类产品相比较,集成电路用超纯水设施具有更高的性价比和设施可靠性;
 

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